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垂直金属有机化学气相沉积相关论文

MOCVD反应器的数学模型及其数值模拟

以垂直金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.模型中包括了流动、传热和传质方程.通过应用......

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MOCVD反应器传质传热流动立式热量方程计算垂直金属有机化学气相沉积数值模拟 MOCVD Mathematics model Flux fi

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