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微结构光学零件的大气等离子体数控加工
为了实现对微结构光学零件无表面损伤和亚表面损伤的高效加工,建立了大气等离子体数控加工系统。研究了该系统的平台设计、大气等离......
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微结构光学零件
大气等离子体加工
去除深度
数控加工系统
micro-structured optics
atmospheric pressure plasm
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