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氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜相关论文

RF-PECVD制备微晶硅薄膜的X射线衍射研究

采用X射线衍射（XRD）技术连续扫描法和薄膜衍射法对RF-PECVD制备的微晶硅薄膜结构进行了研究.改变硅烷浓度和反应功率,控制薄膜的生长......

期刊

X射线衍射(XRD) 氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜晶粒尺寸 X-ray diffraction hydrogenated

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