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金属有机化合物气相沉积(MOCVD)相关论文
Si衬底GaN基LED外延材料的生长与芯片制备
GaN作为第三代半导体材料,具有宽的禁带宽度、高的电子迁移率以及良好的导热性能等优异的特性,能够被广泛地应用于光电半导体、高......
学位
Si衬底
氮化镓(GaN)
发光二极管(LED)
金属有机化合物气相沉积(MOCVD)
外延生长机理
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