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钼离子注入硅相关论文
钼离子注入硅薄层硅化钼的合成
用大束流密度的钼金属离子注入硅,能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随着束流密度的增加,硅化钼生长,薄层硅化物的方块电阻Rs明显下降......
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Mo ion implantation
Implanted silicon
Silicide synthesi
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