不同镀膜方式制备非晶碳膜的结构与性能比较

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【摘要】

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【作者】

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孙瑶黄星烨王箭汪洪

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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非晶碳膜平板玻璃离子源辅助磁控溅射离子束沉积等离子体增强化学气相沉积

【基金项目】

：

“十二五”国家科技支撑计划资助项目(2011BAE14B01)

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