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本文对总剂量电离辐射效应研究中正在广泛使用的测试技术——电测试技术和微结构测试技术,以及正处于研究发展阶段的光学测试技术进行了简单的原理介绍和应用分析。
MOS器件总剂量辐射效应研究中的测试技术
【摘 要】
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本文对总剂量电离辐射效应研究中正在广泛使用的测试技术——电测试技术和微结构测试技术,以及正处于研究发展阶段的光学测试技术进行了简单的原理介绍和应用分析。
【机 构】
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中南大学物理科学与技术学院; 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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重点基金项目(6140438)重点实验室基金项目(51433020101DZ1501)
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