激光诱导表面损伤研究已经有50多年了,其在工业、医疗、物理等领域有着广泛的运用。飞秒激光因其独特的超强、超快特点,在激光微加工领域发展迅猛。飞秒激光诱导表面纳米周期结构是一个复杂的过程,涉及光与物质各种相互作用,在金属、半导体、电介质上诱导形成各种周期条纹结构,其形成物理机制解释目前仍未有统一的观点。飞秒激光照射后导致的表面结构光学特性的改变及其工业应用也引起了人们广泛的关注。由于在飞秒激光的照射过程中,非线性电离机制起到重要的作用,通过超短脉冲绝热过程可以完成烧蚀,实验上很难直接测量或观察到飞秒激光烧蚀材料表面的物理机制和超快动力学过程,本论文中我们建立了一套飞秒脉冲超快成像系统装置,时时观察飞秒激光烧蚀半导体Si表米的超快动力学过程,通过实验观察,发现材料表面的损伤有利于纳米周期条纹的形成,我们认为条纹结构形成的主要原因是由于超短脉冲激发材料表面等离子体波,且条纹产生后能够引起正反馈的作用,促进更多条纹的形成。