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角度不敏感颜色滤光片在显示、大角度探测、无油墨印刷等领域具有重要的应用前景,其中金属-介质-金属型角度不敏感滤光片具有透过率高,稳定性好,易于制备等优点,受到了广泛的研究与关注。本文通过光在金属-介质界面的色散分析和相移理论分析,得出了金属-介质-金属型角度不敏感滤光片的设计思路,但受薄膜材料光学参数限制,金属-介质-金属型角度不敏感滤光片仅被应用于特定的中心波长。为了打破介质材料光学参数的限制,提出了以折射率可调的富硅氧化硅作为中间层介质材料以满足光学参数匹配要求的设计方案,然后通过对反应磁控溅射