碳化硼陶瓷因性能优良,在众多行业有很好的应用前景,是最引人注目的工程陶瓷之一。但碳化硼陶瓷属于典型的高硬度、脆性材料,加工难度大,这很大程度上限制了其应用。电火花加工是当前加工陶瓷材料的一种有效手段。本文从电火花的加工原理出发,通过试验研究电火花微小孔加工碳化硼陶瓷的工艺规律。工具电极选用管状铜电极,分别试验单项加工参数对工艺指标(加工速度、孔扩量和出入口直径变化)的影响规律,最后得出各主要电参数如脉冲宽度、脉冲间隔和峰值电流的选择原则与规律,以及非电参数如加工深度、电极旋转与否、不同工具电极对工艺指标的影响。在深入研究工艺规律的基础上,通过扫描电镜对碳化硼陶瓷加工前后的微观形貌进行研究,同时分析了碳化硼陶瓷材料的蚀除机理。利用正交试验法设计并进行试验,得出各电参数对各项工艺指标的影响次序与大小,从而做到可根据不同工艺指标的要求,调节各电参数,以达到高效稳定的加工。