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由于薄膜元件及结构被广泛应用于各类工程系统,薄膜屈曲研究对于优化MEMS器件的设计等及改善他们的寿命和可靠性非常重要,在静载荷下薄膜屈曲的理论和实验的研究已作出了不少成果,但是实际使用时薄膜器件与薄膜-基底结构大多是工作在动态加载的情况下,静载荷下的屈曲理论对于动态负载工作时应用有所限制。随着薄膜器件在重复的动态负载和疲劳载荷使用下的情形越来越多,膜基结构的疲劳寿命成为受到广为关注的一个重要课题,其中,研究疲劳载荷下的薄膜的屈曲又是特别重要的。在本论文中,完成了关于对疲劳载荷下的薄膜屈曲的实