本论文采用了非平衡磁场磁控溅射设备,通过改变溅射时间（2、4、6小时）,在不锈钢表面制备出不同成分、结构和性能的TiN、Cr₃C₂单层膜以及TiN/TiC、TiN/Cr₃C₂复合薄膜。通过使用X射线衍射仪（XRD）分析了薄膜的物相组成;通过扫描电镜（SEM）及其附带的能谱仪观察到了薄膜的侧面的形貌及薄膜与不锈钢中的成分变化趋势;利用HVS-1000型显微硬度仪研究了薄膜的硬度与膜-基结合力的情况。通过电化学极化曲线研究薄膜的耐腐蚀性能。实验结果表明,利用磁控溅射可以制备出致密的薄膜;镀膜后的硬度要比不锈钢基体的硬度高,并随着溅射时间的增加,硬度也增加;不同薄膜的硬度均不同,综合比较得出硬度最大的膜从左到右依次为:Cr₃C₂膜、TiN膜、TiN/TiC膜、TiN/Cr₃C₂膜;通过结合力的测试,可以发现不同薄膜与基体的结合力也不同,TiN/Cr₃C₂薄膜的膜-基结合力最好;通过X射线衍射（XRD）得出TiN/Cr₃C₂复合薄膜生成了新相,该相结构提高了薄膜的硬度;电化学极化曲线研究发现,镀膜后薄膜的耐腐蚀性都要好于不锈钢基体本身;每种薄膜的耐腐蚀性能各不相同,由于这四种薄膜在氯化钠溶液中的表面活性不一样,金属阳离子氧化性的顺序是Ti²⁺<Cr³⁺<Fe²⁺。因此,将这几种薄膜的腐蚀性按耐蚀最好进行从左到右依次排序为:TiN膜、TiN/Cr₃C₂膜、TiN/TiC膜、Cr₃C₂膜。