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为了满足在保证电容称重传感器最小识别极距变化的同时达到提高其抗偏载能力的要求，对传感器进行了多目标优化的研究。分析计算了电容称重传感器力学性能与结构参数之间的关系，建立了以其导向性能和抗弯性能为优化目标的0.001 g精度电容称重传感器的多目标优化模型。应用Isight优化软件中的改进型非支配解遗传(NSGA-域)算法得到电容称重传感器的Pareto最优解集，并通过有限元验证了优化结果的准确性。研究表明，在保证电容称重传感器最小识别极距变化的前提下，极大地屏蔽了偏载对电容精度的影响，结果具有很强的实用性。