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本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果.
石英微机械惯性传感器的加工技术
【摘 要】
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本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果.
【机 构】
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不详,四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2002年10期
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