轻掺杂氢化非晶硅的制备与光电性能研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fafa1234567

【摘要】

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【作者】

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石兵蒋向东王继岷邓宗权程自亮

【出处】

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半导体光电

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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PECVD 氢化非晶硅硼掺杂电导率折射率

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目(51372032)

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