类金刚石（DLC）薄膜由于具有良好的力学、电学、热学和化学稳定性而被广泛地应用在机械、电子、航空、航天等领域。在光学方面,DLC是一种性能良好的红外材料,可以用作红外探测、红外遥感卫星探测系统的增透保护膜。随着大功率、高强度激光武器的出现,人们对DLC薄膜的抗激光损伤特性表现出了极大的兴趣。基于此,本文从DLC薄膜入手,根据薄膜损伤测试标准ISO11254-1对典型的光学薄膜进行了激光损伤特性研究。首先,详细地介绍了国内外关于激光薄膜损伤研究的现状,对光学薄膜的激光损伤机理进行了综述,并在此基础上建立了光学薄膜激光损伤的热一力耦合模型;接着,通过对损伤测试标准的研究搭建了整个测试平台,并对测试和损伤判断方法进行了研究。利用1-on-1损伤测试方法和散射光损伤加目视检验法,对DLC薄膜和介质薄膜进行抗激光损伤测试,准确测出了其损伤阈值,并利用所建立的热-力耦合模型对其损伤机理进行了验证。考虑到非平衡磁控溅射法制备的薄膜内应力大对其抗激光损伤有较大影响,对薄膜进行了退火处理,结果表明:其激光损伤阈值明显提高;针对非平衡磁控溅射法和真空脉冲电弧法薄膜沉积工艺参数与阈值之间的关系设计了正交实验,找到各个参数对薄膜阈值影响的大小,并得到了最佳沉积工艺参数;对不同厚度的DLC薄膜进行了损伤测试,发现厚度对薄膜阈值也有很大影响。对于HfO₂/SiO₂薄膜,分别考察了衬底类型、离子束辅助沉积和单层薄膜与多层薄膜对薄膜阈值之间关系。结果发现:Si片上沉积薄膜的损伤阈值不及K9玻璃上的薄膜;离子束辅助可以明显提高薄膜的激光损伤阈值;单层薄膜的激光损伤阈值比多层膜高。